川崎3RS020NJ六軸減速機(jī)60215-1154 SHG-20-50-2SH-SP1

 

Kawasaki川崎機(jī)器人3RS020NJ JT6軸減速機(jī)60215-1154 SHG-20-50-2SH-SP1

減速比： 20：50

產(chǎn)地：日本

 

川崎3RS020NJ六軸減速機(jī)60215-1154 SHG-20-50-2SH-SP1

 

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       半導(dǎo)體晶圓傳輸自動化產(chǎn)線高端設(shè)備眾多，技術(shù)壁壘難以打破，包括ATM Robot(大氣機(jī)械手)、VTM Robot(真空機(jī)械手)、VTM(真空腔傳送平臺)、VCE(真空腔室升降機(jī))、AlignerQ(對準(zhǔn)器)、EFEM(晶圓設(shè)備前端模塊)、Sorter(晶圓分選機(jī))、Loadport(晶圓裝載端口)等重要部件。